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锆钛酸铅靶材

1、磁控溅射法

磁控溅射法[18]是通过电子起辉辉光放电、来轰击靶材从而使得靶材上的原子零散并走漏到基片名义杀青原子千里积，终末通过热处分结晶取得所需的PZT薄膜材料。该技巧的优点是薄膜在真空腔内孕育，羞辱物少且因素均匀。

2、水热合成法

水热合成法[19-20]即是将PZT原料的溶液或者悬浊液置于可驱散温度和压强的密闭容器中，通过驱散容器内的温度和压强使得原料溶解反映并最终重结晶为PZT的技巧。水热合成法的优点是反映温度低，与基底集中力好，且不易产生裂纹。

3、脉冲激光千里积法

脉冲激光千里积法[21]即是欺诈激光产生的高能量溶化靶材，使材料从靶材上零散。零散的靶材材料会有向基底走漏的趋势，在融化后的材意想达基底后，与基底酿成碰撞区，并最终千里积在基底上的历程。该技巧由于在真空中完成，因此羞辱少，组分褂讪。

4、化学气相千里积法

化学气相千里积法[22]是欺诈物理技巧使得原材料处于气态从而吸附在基底上进行反映，反映产生的副居品则脱离基底，从而杀青薄膜的孕育。该技巧的优点是制备资本低，反映所需温度低。

5、分子束外延孕育法

这种跌幅在以前简直难以想象。一向被认为只涨不跌的房子，迪士尼彩乐园官网地址如今却成了许多人的心病。

分子束外延孕育法[23]是指在十分高的真空条目下，将所需要的组分的热分子或原子束喷射到高温衬底上，从而千里积取得所需薄膜的外延工艺。该技巧的克己是大致严格驱散薄膜的孕育速度及组分，制备工艺可在较低温度下进行。

6、电液雾化千里积

电液雾化千里积[24]是将PZT块材材经过研磨后与PZT溶胶进行夹杂，然后用雾化喷射安装将其喷射在基底上，并在每一层喷射后进行去除水分和有机物，终末高温结晶的工艺制备PZT压电厚膜。该技巧的优点是不错制备厚度到10微米以上的厚膜，取得邃密的压电性能。

7、溶胶凝胶法

溶胶凝胶法[25]当先需要制备PZT先行者液，对先行者液进行去水分，去有机物和高温结晶后取得PZT薄膜的技巧。溶胶凝胶法具有制备资本低，周期短，易于驱散其组分和晶向而被等闲继承。

8、新式溶胶凝胶法

新式溶胶凝胶法[27]是将PZT粉体或者PZT溶胶溶液夹杂后旋涂，热处分取得PZT厚膜的工艺。该技巧制备取得的PZT厚膜具有邃密的压电性迪士尼彩乐园应用，且资本低。

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